홈 > 전시회 뉴스

피코앤테라, 공정 환경 제어용 웨이퍼 세정 장치 전시

국내외 반도체 장비 제조사에 다양한 장비 제조 납품

기사입력 2016-09-08 16:01
(왼쪽부터) 피코앤테라(주) 우범제 대표이사, 김선호 차장


피코앤테라는 반도체 공정 전후 웨이퍼의 공정 환경을 제어하는 장비를 개발하는 등 새로운 기술 분야를 개척하는 기업이다. 기술개발과 끊임없는 연구를 통해 세계 최고의 반도체 생산 공정 장치를 제공하는 것을 목표로 삼고 있다.

피코앤테라가 이번 KOFAS2016에 전시한 주력 제품은 Fume Free System이라는 반도체 제조업체에서 사용하는 웨이퍼 세정 장치이다. 반도체 제조공정에서 발생하는 오염과 이상 반응에 따른 제조 공정 환경을 제어할 수 있어 수율 문제를 효과적으로 개선했다.



공정 장비로는 최소 Foot Print를 차지하며, 공정 후 발생되는 오염물질에 의한 문제점을 최소화 해주는 제품으로 웨이퍼 뿐만 아니라 주변 장비의 수명을 연장시켜 장비 관리에도 도움을 준다. 현재 국내외 반도체 장비 제조사에 다양한 모델을 제조 납품하고 있으며, 해외에도 꾸준한 영업을 진행하고 있다.

피코앤테라는 최근 한국산업기술진흥협회에서 주관하는 장영실상을 수상하였으며, 전 세계적인 유통망을 확보하기 위해 해외 영업에 만전을 기하고 있다.

한편, 피코앤테라 우범제 대표이사는 산업통상자원부에서 주최하고 한국기계산업진흥회에서 주관하는 '2016년도 우수자본재 개발유공자 포상식'에서 반도체 웨이퍼 잔류가스 제거장치 개발로 국산 장비의 우수성을 입증하고, 반도체 업계의 생산성 증진에 기여한 공로를 인정받아 수상의 영광을 안았다.

출품제품

MITSUBISHI SERVO MOTOR/AMP

MITSUBISHI SERVO MOTOR/AMP
폭넓은 제조 분야에서 높은 평가를 받고 있는 PLC, AC SERVO, INVERTER 등, 최고의 기술력을 바탕으로 한 고기능, 고품질의 FA기기제품, 그리고 자동화 고부가가치를 실현하는 산업용 로봇 등 고객 여러분의 폭 넓은 NEEDS에 대응하는 다양한 FA제품을 제공 합니다.

외벽부착식 초음파 유량계

외벽부착식 초음파 유량계
파이프 절단이 없는 외벽부착식으로 설치나 A/S시 단수할 필요가 없음. 수계변동, 설치장소 변경으로 인한 유량계의 이전설치가 간편하며, 재활용할 수 있어 추가비용이 없음. 출력은 4-20mA 2개, 적산신호 및 경보신호로 사용되는 2개의 펄스출력, 디지털 통신을 위한 RS-232C을 지원함. 최소유량과 최대유량의 측정범위가 500:1 이상으로 매우 넓어 유량변화가 큰 현장에 사용될 수 있으며, 특히 심야시간대에 기존의 기계식/전자식 유량계로 측정할 수 없는 매우 적은 유량도 측정하므로 구역 및 블록유량계로 최적임. AR(Anti-Round)모드 초음파 빔을 사용하므로 다량의 공기방울이나 고형물질을 포함한 액체측정이 가능하며, 인버터 등과 같은 노이즈 발생원이 있는 현장에서도 정확한 측정이 가능

자이로밸런싱스쿠터

자이로밸런싱스쿠터
자이로센서를 이용한 친환경 퍼스널 스마트 모빌리티로서 탑승자의 몸의 밸런스 신호를 감지하여 전진, 후진, 회전을 하는 신개녕 이동수단.

FJVPS

FJVPS
3D 데이터를 활용한 조립검증, 디자인 검증(VDR), 생산성 검증, 생산준비업무를 선행하는 가상 검증 툴입니다.
이전제품 보기 다음제품 보기 출품제품 더보기