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피코앤테라, 공정 환경 제어용 웨이퍼 세정 장치 전시

국내외 반도체 장비 제조사에 다양한 장비 제조 납품

기사입력 2016-09-08 16:01
(왼쪽부터) 피코앤테라(주) 우범제 대표이사, 김선호 차장


피코앤테라는 반도체 공정 전후 웨이퍼의 공정 환경을 제어하는 장비를 개발하는 등 새로운 기술 분야를 개척하는 기업이다. 기술개발과 끊임없는 연구를 통해 세계 최고의 반도체 생산 공정 장치를 제공하는 것을 목표로 삼고 있다.

피코앤테라가 이번 KOFAS2016에 전시한 주력 제품은 Fume Free System이라는 반도체 제조업체에서 사용하는 웨이퍼 세정 장치이다. 반도체 제조공정에서 발생하는 오염과 이상 반응에 따른 제조 공정 환경을 제어할 수 있어 수율 문제를 효과적으로 개선했다.



공정 장비로는 최소 Foot Print를 차지하며, 공정 후 발생되는 오염물질에 의한 문제점을 최소화 해주는 제품으로 웨이퍼 뿐만 아니라 주변 장비의 수명을 연장시켜 장비 관리에도 도움을 준다. 현재 국내외 반도체 장비 제조사에 다양한 모델을 제조 납품하고 있으며, 해외에도 꾸준한 영업을 진행하고 있다.

피코앤테라는 최근 한국산업기술진흥협회에서 주관하는 장영실상을 수상하였으며, 전 세계적인 유통망을 확보하기 위해 해외 영업에 만전을 기하고 있다.

한편, 피코앤테라 우범제 대표이사는 산업통상자원부에서 주최하고 한국기계산업진흥회에서 주관하는 '2016년도 우수자본재 개발유공자 포상식'에서 반도체 웨이퍼 잔류가스 제거장치 개발로 국산 장비의 우수성을 입증하고, 반도체 업계의 생산성 증진에 기여한 공로를 인정받아 수상의 영광을 안았다.

출품제품

산업용 냉각기 공냉식 일체형 (초소형)

산업용 냉각기 공냉식 일체형 (초소형)
­ -실외기,실내기가 일체로 구성된 제품으로 콤팩트함. ­ -고성능,저소음의 콤프레샤 내장으로 탁월한 냉동기능 발휘 ­ -누전차단기 보호용 연동회로를 장착하여 고장 발생을 사전에 예방하고 높은 안정성 유지

Mechanical Seal

Mechanical Seal
이 타입은 Multi-spring type으로써 single spring type 대비 고속 회전에서 사용할 수 있습니다. 또한 여러 개의 spring이 동시에 작용 하므로 seal face의 면압이 균일하게 유지할 수 있습니다. 그러나 spring 선경이 가늘으므로 slurry에 사용하기엔 부적합 할 수 있습니다.

3차원 측정기

3차원 측정기
고속 구동 기능에 우수한 측정 속도를 갖추고 있어 처리 속도가 빠른 표준형 3차원 측정기

Butterfly Valve

Butterfly Valve
기능: 배관상 필요한 요구조건과 응용에 맞추어 만들어진 밸브이며 유속을 효과적으로 조절함으로써 CATITION 현상과 소음, 부식현상과 진동이 적다. 3중편심 비대칭디스크로 시트의 마모가 거의 없고 작동시 토오크가 작다. CE,ATEX,ISO9001,ISO14001 획득함. 용도: 냉.온수급수 Line용 Air,Gas공급 Line용 상.하수도, 식음료 제조 공급설비 Line용 빙축열,냉난방Line용
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