[피코앤테라] 참가업체소개

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피코앤테라

대표자		홈페이지	http://www.picoandtera.com/
주소	경기도 수원시 영통구 덕영대로 1556번길 16(영통동) 디지털엠파이어 빌딩 B동 1002호	부스번호	5A-055
전화번호	031-303-5757-8	전시품목	New Fume Free System, Humidity Control EFEM, New Purge LoadPorts, New 3D Purge Foup, Power Free Airamplifier

회사소개

2003년 반도체 생산 장비 분야의 국산화 및 신제품 개발을 목표로 설립하였고, 밴처기업 및 이노비즈 인증을 거쳐 2011년 법인으로 전환하여 연구 및 개발을 통해 반도체 공정 전후의 웨이퍼 환경을 제어하는 장비를 최초로 개발하였습니다. 새로운 기술 분야를 개척하였으며, 2013년 삼성전자 동반성장 협력상을 수상, 2016년 장영실상 및 우수자본재상 수상하였습니다. 현재 셰계적인 반도체 장비 회사인 AMAT, TEL 사와 거래하고 있으며, 국내 반도체 업체인 삼성전자, SK-Hynix, SEMES 등 서비스를 유지하고 있습니다.

제품정보

참가업체제품

New Fume Free System (Wafer Fume & Humidity Control System)

피코앤테라

반도체 제조 공정에 의한 부산물 발생을 억제 하는 방법으로 공정을 끝낸 웨이퍼 마다 불활성 가스를 분사하여 공정 잔류 가스와 대기 가스의 접촉을 최소화 하고 웨이퍼 상의 주변 가스들을 흡입하여 독성 잔류 가스와 부산물들이 웨이퍼와 주변 장비들을 부식 시키는 것을 방지함으로써 불량 발생 확률을 낮춰 웨이퍼 생산성 뿐만 아니라 장비 관리성에도 그 영향성을 보여줍니다.

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출품제품

KFSC-DB1: 드럼보관에 적함한 제품으로 하부에 롤러를 장착하여 입출고에 용이합니다. 또한 사용 중 외부에 기름이 유출되지 않도록 방지턱이 있어 작업환경을 청결하게 유지할 수 있습니다.산업안전보건공단의 S마크(안전인증)를 획득한 제품입니다.

Pressure Sensor: SOS식 앰프내장형 압력계. 특징 : 높은 정도 0.1%R.O, 0.2%R.O(비직선성, 히스테리시스, 반복성포함), 높은 정도로 연성압 측정가능, 저압(0~200kPa)부터 고압(0~50MPa)까지 대응가능, 출력: 0-10V, 4-20mA이며, 용도는 엔진 테스트벤치, 이젝터, 공기 브레이크 시험장치, 환경 시험장치, 가스 분석장치, 산업용 용접기, 반도체노광장치, 고기능프레스기계/유압펌프 장치 등에 사용된다.

이미지 치수 측정 시스템: ·놓고 누르기만 하면 OK. 측정 시간 대폭 단축 ·사용자에 따른 편차 제거 ·더 넓은 용도에 대해 간편하게 설정 ·측정 데이터 활용도 간단

Control Globe Valve: VM-1100 VM-1300 VM-1320 VM-1400 SERIES

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