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피코앤테라
| 대표자 | 홈페이지 | http://www.picoandtera.com/ | |
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| 주소 | 경기도 수원시 영통구 덕영대로 1556번길 16(영통동) 디지털엠파이어 빌딩 B동 1002호 | 부스번호 | 5A-055 |
| 전화번호 | 031-303-5757-8 | 전시품목 | New Fume Free System, Humidity Control EFEM, New Purge LoadPorts, New 3D Purge Foup, Power Free Airamplifier |
회사소개
2003년 반도체 생산 장비 분야의 국산화 및 신제품 개발을 목표로 설립하였고, 밴처기업 및 이노비즈 인증을 거쳐 2011년 법인으로 전환하여 연구 및 개발을 통해 반도체 공정 전후의 웨이퍼 환경을 제어하는 장비를 최초로 개발하였습니다. 새로운 기술 분야를 개척하였으며, 2013년 삼성전자 동반성장 협력상을 수상, 2016년 장영실상 및 우수자본재상 수상하였습니다. 현재 셰계적인 반도체 장비 회사인 AMAT, TEL 사와 거래하고 있으며, 국내 반도체 업체인 삼성전자, SK-Hynix, SEMES 등 서비스를 유지하고 있습니다.
제품정보
New Fume Free System (Wafer Fume & Humidity Control System)
피코앤테라
반도체 제조 공정에 의한 부산물 발생을 억제 하는 방법으로 공정을 끝낸 웨이퍼 마다 불활성 가스를 분사하여 공정 잔류 가스와 대기 가스의 접촉을 최소화 하고 웨이퍼 상의 주변 가스들을 흡입하여 독성 잔류 가스와 부산물들이 웨이퍼와 주변 장비들을 부식 시키는 것을 방지함으로써 불량 발생 확률을 낮춰 웨이퍼 생산성 뿐만 아니라 장비 관리성에도 그 영향성을 보여줍니다.
출품제품
- 산업용 로봇을 이용한 박스 포장 및 적재 자동화 시스템
- 6축 다관절 로봇을 이용하여 박스 포장 및 적재 자동화 구현.
- 진공펌프 모터(총 6종)
- 반도체 생산 라인에 사용되는 진공펌프 모터는 상시 공회전을 하다가 급속히 정격 부하가 걸리는 특성에 모터입니다. 당사 모터는 경부하와 정격 부하 양쪽의 효율을 모두 만족하는 모터입니다.
- Robot Teach Pendant
- - Real-time Linux (Xenomai) - High performance processor - GUI : Qt or framebuffer direct access - Application development : Eclipse on Windows - Communication : Ethernet, RS232, RS485
- 소형선반
