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피코앤테라, 공정 환경 제어용 웨이퍼 세정 장치 전시

국내외 반도체 장비 제조사에 다양한 장비 제조 납품

기사입력 2016-09-08 16:01
(왼쪽부터) 피코앤테라(주) 우범제 대표이사, 김선호 차장


피코앤테라는 반도체 공정 전후 웨이퍼의 공정 환경을 제어하는 장비를 개발하는 등 새로운 기술 분야를 개척하는 기업이다. 기술개발과 끊임없는 연구를 통해 세계 최고의 반도체 생산 공정 장치를 제공하는 것을 목표로 삼고 있다.

피코앤테라가 이번 KOFAS2016에 전시한 주력 제품은 Fume Free System이라는 반도체 제조업체에서 사용하는 웨이퍼 세정 장치이다. 반도체 제조공정에서 발생하는 오염과 이상 반응에 따른 제조 공정 환경을 제어할 수 있어 수율 문제를 효과적으로 개선했다.



공정 장비로는 최소 Foot Print를 차지하며, 공정 후 발생되는 오염물질에 의한 문제점을 최소화 해주는 제품으로 웨이퍼 뿐만 아니라 주변 장비의 수명을 연장시켜 장비 관리에도 도움을 준다. 현재 국내외 반도체 장비 제조사에 다양한 모델을 제조 납품하고 있으며, 해외에도 꾸준한 영업을 진행하고 있다.

피코앤테라는 최근 한국산업기술진흥협회에서 주관하는 장영실상을 수상하였으며, 전 세계적인 유통망을 확보하기 위해 해외 영업에 만전을 기하고 있다.

한편, 피코앤테라 우범제 대표이사는 산업통상자원부에서 주최하고 한국기계산업진흥회에서 주관하는 '2016년도 우수자본재 개발유공자 포상식'에서 반도체 웨이퍼 잔류가스 제거장치 개발로 국산 장비의 우수성을 입증하고, 반도체 업계의 생산성 증진에 기여한 공로를 인정받아 수상의 영광을 안았다.

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