In process gauge?Post process gauge :PULCOM 슈퍼Σ
초고정밀도 측정 헤드
PULCOM 슈퍼Σ
특 징
인라인으로 0.1μm 의 높은 정밀도
반복 정밀도0.1μm(25 회)를 구현.
온도 변화에 강하다
온도 환경이 10℃변화하였을 때,측정값의 변화는 0.5μm이하를 구현.
장시간 아이들링(idling)이 불필요
전원을 넣은 후10분 후에 측정값의 변화는 0.1μm이하를 구현.
2월 '기업전시장' 서비스 오픈
In process gauge?Post process gauge :PULCOM 슈퍼Σ
초고정밀도 측정 헤드
PULCOM 슈퍼Σ
특 징
인라인으로 0.1μm 의 높은 정밀도
반복 정밀도0.1μm(25 회)를 구현.
온도 변화에 강하다
온도 환경이 10℃변화하였을 때,측정값의 변화는 0.5μm이하를 구현.
장시간 아이들링(idling)이 불필요
전원을 넣은 후10분 후에 측정값의 변화는 0.1μm이하를 구현.
대표자명 | 이상철 |
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