레이저 비아 홀 AOI 3차원측정기
CO2 레이저 드릴로 가공된 비아 홀 전수검사를 위한 레이저 비아 홀 AOI
Y축 이송 테이블에 비접촉식 마그네틱 리니어 모터 적용으로 고속 이송시
진동 스트레스를 최소화하여 고정밀 이송 안정성 구현
다양한 형태의 블라인드 홀(BVH)의 결함을 고속으로 전체 홀을 자동 검사
하여 불량 선별 및 분석
VRS(Defect Verification &; Repair System) (옵션)
표면 스캔에 의한 딤플/범프 검사 (옵션)