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■4탐침 면저항측정기 특징
웨이퍼 ,박막,태양전지 등의 시트 저항을 측정하는 방법으로 무엇보다 중요한것이
4Point Probe Head 이다.
반도체및 디스플레이 등에서는 Jandel 사 Probe를 알아주며 통용 되고 있다.
일반저항 측정은 우리가 알고 있는 테트스기로 각종 저항을 측정할수 있다.
일반저항은 접촉부위에 접촉하는것이 어렵지 않다.
하지만 면저항 을 측정할때는 일정하게 표면에 접촉이 되어야 정확한 데이타를 획득할수 있다.
그러기 위해서는 기구적으로 정확한 작동방식이 필요로 한다.
이부분에서 정확한 힘을 전달하기위해 자동방식을 권장한다. 자동방식은 터치 부위의 힘을 일정하게 체크하여
표면에 일정하게 힘을 전달하게 작동한다.
■면저항 측정기 제품 선택
면저항측정기 를 선택할때는 정확한 측정(측정의 정확도),측정속도를 확인할 필요가 있다. 정확도는 말할것도 없지만 측정속도 도 간과해서는 안된다. 많은량의 측정이 필요할때는 측정속도의 효율성도 생각하여야 한다. 아래 제품은 이러한 조건에 만족하는 제품을 소개할까 한다.
메인 측정 테스터 유닛은 마이크로 프로세서를 통한 고 정밀도의 정전류원 전원 제어 및
빠른 데이터 처리가 가능하도록 제작 되어있다.
통신을 인터페이스를 제공함으로써 PC에서 측정의 진행 및 결과 데이터의 관리가 가능하도록 편의를 제공하고 있다.
■측정
High speed high precision measurement performance of R/Rs/Res
Single & Dual configuration
측정범위 |
1 milliohms-per-square to 1 Giga ohms-per-square |
측정시간 |
0.1Sec(아주 빠른 측정시간) |
Measurement accuracy |
±0.5 %(Internal Standard Resistor) |
Voltage measurement range |
1m - 500mV |
| Current measurement range | 100nA - 100mA |
V=Voltage between the inner probes (V)
I=Current through the outer probes (A)
S=Needle spacing (cm)
ρ=Resistivity (Ω-cm)
ρ = 2∏S (V/I) (Ω-cm)
FEATURES
- High speed high precision measurement performance of R/Rs/Res - Voltage measurement range:1m - 500mV - Current measurement range:100nA - 100mA - Measurement accuracy :±0.5 %(Internal Standard Resistor) - Probe spacing :0.5mm ~ 4.0mm - Probe needle radii :12.5㎛ ~ 500㎛ - Measurement time :0.1s - Single & Dual configuration - Serial RS232C communication
APPLICATIONS
- Silicon ,Polysilicon - Metal thin films -Transparent films -Others
