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DLC Coating Machine i170ID

DLC Coating Machine i170ID

가격협의
  • 제품번호 : 99152
  • 제조사 : 아이시스(주)
  • ※관련법령에 의하여 엄격히 금지되며, 법적 처벌의 대상이 될 수 있습니다.
  • · 마케팅, 광고 등의 목적으로 동의 없이 전화, 문의 등을 이용하는 경우
  • · 사이트의 정보, 콘텐츠, UI 등에 대한 무단 복제, 전송, 배포, 스크래핑 등의 행위
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제품 상세정보

Ion Gun을 이용하여 이온화 한 C2H2 가스를 이용한 DLC 코팅
절연성 우수하여 반도체 장비 부품 코팅에 적합
모든 공정 자동화 SYSTEM & 원격지원 & Data 관리 기능
적용분야:Insert, Nozzle, Hob 등등...


 

i120A 사양

챔버 size & volume

Ø1200 x 1360 h   /  1520 litter

Turn table 수량 x 코팅 높이

12 축  x  900 mm (height)

최대 장입 무게 (금형용 turn table)

Max. 800 kg

코팅 소스 x 수량

5” Circular Arc source x  16 set

에칭 방식

HCD gun etching , Metal etching

바이어스 전원

Pulsed DC

챔버 heating

Sheath Heater & 전자 가열

코팅 박막 종류

TiN, TiAlN, AlTiN, AlCrN, CrN,···

    


 


 

 

판매기업

대표자명 배상열
문의전화 0504-3105-9040
홈페이지 www.isysinc.co.kr
이메일 jkbae0988@isysinc.co.kr
주소 0 경기도 안양시 만안구 안양동205-2
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