노바센(NOVASEN)(주)는 1일부터 3일까지 서울 코엑스에서 개최하는 세미콘코리아(SEMICON KOREA)에 참가해 진공압력을 제어하는 밸브 등을 소개했다. 진공제어사업부 장민석 이사는 “반도체, 디스플레이 공정에 주로 사용하는 진공압력 제어 밸브인 APC(Adaptive Pressure Control) 펜듈럼 밸브(Pendulum Value)는 진자가 움직이는 것처럼 왕복운동을 하며 압력을 제어할 수 있다”라고 설명했다. 또한 기능의 복합화를 원하는 수요자의 요구에 발맞춰 하나의 밸브로 압력 제어와 실링 기능을 갖춘...